термооксидная кремниевая пластина Это тип кремниевой пластины, в котором слой диоксида кремния (SIO₂) выращивается на поверхности кремниевой пластины посредством высокотемпературного процесса окисления. Этот тип оксидного слоя формируется на открытой поверхности кремниевых пластин в условиях высокой температуры с использованием окислителей. Термооксидный слой обычно выращивается в горизонтальной трубчатой печи с температурным диапазоном роста 900 ℃~1200 ℃. Существует два метода роста: «мокрое окисление» и «сухое окисление». Термический оксидный слой — это тип оксидного слоя, который «выращивается» и обладает более высокой однородностью и диэлектрической прочностью по сравнению с оксидным слоем, нанесенным методом химического осаждения из газовой фазы.

1. отличные электрические характеристики

Термооксидная кремниевая пластина, как изолятор или аморфный полупроводниковый материал, демонстрирует превосходные изоляционные характеристики и термическую стабильность. Ее удельная емкость при комнатной температуре относительно низкая, около 3,9, и уменьшается с повышением температуры. Ее высокие изоляционные характеристики означают, что даже в сложных схемных условиях она может эффективно предотвращать помехи сигнала и утечку тока, тем самым гарантируя общую производительность устройства.

2. хорошая управляемость

Ключевые параметры процесса термического окисления кремния, включая температуру, атмосферу и время, можно точно контролировать. Температура, как основной фактор, влияющий на скорость окисления и качество оксидного слоя, может существенно ускорить ход реакции окисления. Что касается атмосферы, в качестве окислителя обычно используют кислород, и, регулируя расход кислорода, можно точно контролировать скорость окисления. Время реакции напрямую определяет толщину оксидного слоя. В реальном производстве, строго контролируя эти параметры процесса, можно добиться точного управления толщиной, однородностью и качеством оксидного слоя, тем самым отвечая требованиям проектирования различных сложных устройств.

3. высококачественная оксидная пленка

Оксидная пленка, образованная методом сухого окисления кислородом, имеет плотную структуру, хорошую однородность и повторяемость. Ее поверхность представляет собой неполярную силоксановую структуру, которая хорошо прилипает к фоторезисту и не поддается флотации. Благодаря относительно низкой скорости окисления метод сухого окисления кислородом обычно подходит для формирования тонких высококачественных оксидных слоев.

4. эффективный процесс окисления мокрым кислородом

Процесс окисления мокрым кислородом значительно повышает скорость окисления за счет введения водяного пара в качестве окислителя. Из-за разложения водяного пара на оксид водорода при высоких температурах, скорость его диффузии в оксид кремния намного выше, чем у кислорода, поэтому скорость окисления мокрым кислородом примерно на порядок выше скорости окисления сухим кислородом. Хотя в процессе окисления мокрым кислородом могут быть внесены примеси или дефекты, все еще возможно получить оксидный слой, отвечающий эксплуатационным требованиям устройства, строго контролируя условия процесса.

5. отличная однородность и плотность

По сравнению с другими методами, такими как химическое осаждение из газовой фазы (ХОПФ), оксидный слой, сформированный термическим окислением, имеет лучшую однородность и плотность. Оксидный слой, сформированный сухим окислением, имеет более высокую плотность и более однородную структуру, что может эффективно снизить возникновение дефектов и микроотверстий. Эта превосходная однородность и плотность обеспечивают постоянство характеристик устройства, повышая надежность и стабильность продукта.

6. высокая диэлектрическая прочность

Термический оксид кремния обладает высокой диэлектрической прочностью и может выдерживать большие электрические поля без пробоя. Эта характеристика делает термически окисленный кремний идеальным материалом для изготовления высоковольтных устройств. В условиях высокого напряжения термически окисленный кремний может сохранять стабильные электрические характеристики, обеспечивая безопасную работу устройства. Его высокая диэлектрическая прочность не только повышает стойкость устройства к напряжению, но и обеспечивает возможность компактности и высокой производительности устройства.

7. хорошая высокотемпературная стабильность

Термический оксид кремния может сохранять стабильные физические и химические свойства в условиях высоких температур. Высокотемпературная стабильность термически окисленного кремния гарантирует, что он не подвергнется ухудшению производительности или структурным изменениям на этих этапах процесса, тем самым гарантируя общее качество и надежность устройства. Эта превосходная высокотемпературная стабильность позволяет широко использовать термический оксид кремния в различных сценариях высокотемпературных технологических процессов, обеспечивая надежную поддержку производства полупроводниковых приборов.

Процесс производства пластин термического оксида кремния в основном включает следующие основные этапы:

1. Очистка кремниевой пластины: Во-первых, исходная кремниевая пластина проходит строгую очистку для удаления примесей и загрязняющих веществ с поверхности, что гарантирует качество процесса окисления.

2. подготовка печи окисления: поместите очищенную кремниевую пластину в печь окисления с кварцевой трубкой. Кварцевые трубки имеют высокие температуры плавления и химическую стабильность, а также могут выдерживать высокотемпературные среды окисления.

3. контроль температуры: Точный контроль температуры печи окисления достигается за счет нескольких зон нагрева, стабилизирующих температуру внутри печи в диапазоне от 1000 °C до 1200 °C и обеспечивающих достаточную энергию для реакции окисления.

4. введение окислительной атмосферы: В зависимости от требований процесса в окислительную печь вводят чистый кислород или окислительную атмосферу, содержащую водяной пар. При сухом окислении кислородом в качестве окислителя используется чистый кислород для формирования высококачественных оксидных пленок; при влажном окислении кислородом скорость реакции окисления увеличивается за счет водяного пара.

5. Мониторинг процесса окисления: в ходе процесса окисления в режиме реального времени контролируются скорость роста и однородность оксидного слоя, а качество оксидного слоя обеспечивается регулировкой параметров процесса.

6. охлаждение и извлечение из печи: После завершения окисления медленно понизьте температуру внутри печи до комнатной, чтобы избежать растрескивания или деформации кремниевой пластины из-за резких перепадов температур. Наконец, извлеките термически оксидированную кремниевую пластину для последующей обработки и тестирования.

1. оксид затвора МОП-транзистора

Термооксидная кремниевая пластина играет решающую роль в качестве оксида затвора в МОП-транзисторах (металл-оксид-полупроводниковых полевых транзисторах). Она обладает хорошей изоляцией и низкой плотностью поверхностных состояний, что позволяет эффективно контролировать модуляционный эффект напряжения затвора на ток канала и достигать коммутационной функции устройства. Слой оксида затвора обычно изготавливается методом термического окисления, образуя слой оксида кремния с чрезвычайно низким током утечки и высокой напряженностью электрического поля пробоя, что обеспечивает стабильность и надежность устройства.

2. ИК-процесс диэлектрического слоя

В процессе производства интегральных схем (ИС) пластина из термооксидного кремния широко используется в качестве диэлектрического слоя для электроизоляции, защиты поверхности и маскирования. Благодаря своим превосходным электроизоляционным свойствам, термической и химической стабильности она является одним из наиболее часто используемых материалов для диэлектрических слоев в полупроводниковой промышленности.

3. изоляционные и маскирующие материалы

Термический оксид кремния используется не только как изолирующий слой в полупроводниковых процессах, но и как маскирующий материал с высокой селективностью и химической инертностью. Он может эффективно предотвращать эрозию химических реагентов или газов, точно определять границу диффузии легирующих элементов и обеспечивать точный контроль области легирования. На таких ключевых этапах, как травление, диффузия и ионная имплантация, термически оксидная кремниевая пластина действует как маскирующий слой, защищая области, не требующие обработки, что повышает точность и эффективность процесса.

4. солнечные кремниевые чипы

В области солнечных элементов термически оксидированная кремниевая пластина играет важную роль в качестве слоя пассивации поверхности. Она может эффективно снизить скорость поверхностной рекомбинации кремниевых пластин и повысить эффективность фотоэлектрического преобразования батарей. Фиксированные положительные заряды, образующиеся в процессе термического окисления, создают полевую пассивацию, дополнительно снижая плотность состояний поверхностных дефектов и улучшая производительность батареи.

5. эпитаксиальная кремниевая пластина

В процессе изготовления эпитаксиальных кремниевых пластин термически окисленный кремний служит промежуточным слоем, обеспечивая ровную и чистую поверхность для эпитаксиального роста. Он способен эффективно блокировать диффузию примесей, защищать активные приборы и кремний от влияния последующих процессов. Качество термически окисленного кремниевого слоя имеет решающее значение для качества роста эпитаксиального слоя и производительности прибора.

Упаковка должна быть способна выдерживать удары, вибрации, укладку и экструзию, которые могут возникнуть во время перевозки, а также должна быть легкой для погрузки и обработки.

Мы используем профессиональную упаковку кристаллических коробок. Цилиндрическая коробка защищена двухслойным мешком, внутри - пылезащитный мешок PE, а снаружи - мешок из алюминиевой фольги, который может быть изолирован от воздуха. Двухэтажные мешки упакованы в вакуум.

Мы выберем модель коробки в зависимости от продукта разных размеров. И заполнить сейсмическую пену EPE между продуктом и картонной коробкой, чтобы играть полную защитную роль.

В конечном итоге выбирается доставка товара клиенту воздушным транспортом. Это позволяет клиентам в любой стране и регионе получать продукцию в кратчайшие сроки.

Мы соблюдаем правила формы данных о безопасности материалов (MSDS), чтобы гарантировать, что перевозимая продукция не содержит вредных веществ и не вызывает загрязнения окружающей среды, взрывов и других возможных опасностей.

Площадь завода: 3000 м²

Процесс:

1. Формирование → 2. контур края → 3. шлифовка → 4. полировка → 5. очистка → 6. упаковка → 7. транспортировка

Вместимость:

Стеклянный круг - 30K пластины

Кремниевая пластина - - 20K

(6 дюймов)

Метод проверки качества: проверка продукта в соответствии со стандартом SEMI или требованиями клиента с добавлением COA продукта.

Гарантийный срок: в соответствии с требованиями контракта.

Управление системой качества:

Организация производства в соответствии с ISO 9001 и другими стандартами системы качества.

Системы и меры менеджмента качества:

● Создайте строгую систему обеспечения качества, руководители отделов и инженеры по качеству обеспечивают скоординированную работу системы качества.

• Усиление системы контроля качества, усиление контроля качества процесса

● Строгий контроль качества материалов для обеспечения того, чтобы вводимые материалы соответствовали требованиям проектирования и техническим спецификациям.

● Внедрение системы своевременного архивирования технической информации для обеспечения полноты / точности всей технической информации о переработке.

Контроль качества на этапе производства:

● Этап подготовки производства: тщательная организация соответствующего персонала для изучения чертежей продукции и технических правил, повышения технического уровня персонала.

● Контроль качества производственного процесса: внедрение строгой системы передачи, передача от предыдущего процесса к следующему, должна быть детально обработана. В то же время, укрепить систему контроля качества для обеспечения качества на каждом этапе процесса.

• Приемка качества: все процессы должны пройти проверку качества до перехода к следующему процессу.

Предпродажное обслуживание

Профессиональная техническая поддержка и бизнес - команда, чтобы помочь вам определить спецификации продукта в соответствии с использованием продукта и опубликовать спецификации.

Приобретение услуг

Производство продукции в соответствии с утвержденными спецификациями и нашей технологией.

Послепродажное обслуживание

В течение 24 часов мы ответим на любые проблемы с продуктами или процессами, с которыми сталкиваются клиенты. Мы можем выбрать различные формы услуг, такие как электронная почта, видеоконференции и т.д.