В производстве полупроводников плоскостность подложки пластины является критически важным параметром. Без идеальной плоскостности последующие процессы, такие как литография, осаждение тонких плёнок, химико-механическая полировка (ХМП) и склеивание, могут пострадать с точки зрения выхода годных изделий, однородности и надёжности.
-
2025-12-08