В производстве полупроводников полировка пластин играет важнейшую роль. Правильно выполненный процесс полировки обеспечивает целостность поверхности и подповерхностного слоя пластины, что, в свою очередь, способствует высокому выходу годных изделий и надёжной работе устройств. Однако дефекты полировки могут привести к снижению плоскостности, появлению царапин, углублений или частиц и, в конечном итоге, к снижению надёжности.
-
2025-12-08