Контроль загрязнений — основа современного производства пластин. Каждый нанометр кремниевой пластины должен оставаться безупречным в процессе обработки, поскольку даже микроскопическая пыль или остатки химических веществ могут снизить выход продукции и надежность. Предотвращение загрязнений требует скоординированного подхода, сочетающего передовые технологии управления чистыми помещениями, оптимизированную конструкцию оборудования и строгую технологическую дисциплину.
-
2025-12-08