Стеклянная пластина sk-1300 — это пластина из синтетического плавленого кварца высокой чистоты, изготовленная с использованием передовых производственных процессов. Она известна своим чрезвычайно низким содержанием гидроксильных групп (<200ppm) and excellent optical and thermal properties. the product is based on a sio₂ substrate, has no fluorescence (at 254nm wavelength), a density of 2.2g/cm³, a poisson's ratio of 1.1, a vickers hardness of 55, and a thermal expansion coefficient as low as 5.5×10⁻⁷. these characteristics make it have a wide range of application potential in semiconductor manufacturing, optical component production and other fields.

1. высокая чистота:

Стеклянная пластина SK-1300 изготовлена из высокочистого синтетического плавленого кварца, который значительно чище материалов, получаемых традиционными прямыми методами. Эта высокая чистота позволяет эффективно снижать загрязнение примесями в процессе производства полупроводников, а также повышать выход годных кристаллов и стабильность характеристик. Например, в процессе фотолитографии высокочистые пластины позволяют избежать дефектов фотолитографии, вызванных примесями, и гарантировать точный перенос рисунка.

2. низкое содержание гидроксилов:

Содержание гидроксильных групп в этой пластине чрезвычайно низкое, менее 200 ppm. Низкое содержание гидроксильных групп помогает улучшить оптические характеристики пластины, особенно пропускание в ультрафиолетовой области. Это критически важно для производства полупроводников, требующего высокоточных оптических измерений и процессов фотолитографии, обеспечивающих равномерное экспонирование и точное формирование рисунка фоторезистов.

3. отличная термическая стабильность:

Коэффициент теплового расширения стеклянной пластины SK-1300 составляет всего 5,5×10⁻⁷, что значительно ниже, чем у обычных стеклянных материалов. Такой низкий коэффициент теплового расширения позволяет ей сохранять размерную стабильность во время высокотемпературной обработки и уменьшать деформацию и трещины, вызванные термическим напряжением. Например, во время высокотемпературной диффузии и отжига полупроводниковых кристаллов пластина может оставаться плоской, что обеспечивает плавное протекание последующих процессов.

4. высокая твердость:

Твердость этой пластины по Виккерсу достигает 55, что обеспечивает высокую износостойкость и устойчивость к царапинам. В процессе производства полупроводников пластину необходимо обрабатывать много раз. Высокая твердость может эффективно предотвращать царапины и повреждения на поверхности пластины, продлевать срок ее службы и снижать производственные затраты.

5. высокая плотность:

Плотность стеклянной пластины SK-1300 составляет 2,2 г/см³. Эта высокая плотность обеспечивает ей хорошую механическую прочность и стабильность. В производстве полупроводников пластины высокой плотности лучше выдерживают механические нагрузки во время обработки, уменьшают повреждения, вызванные вибрацией и ударами, и обеспечивают плавный ход производственного процесса.

6. низкий коэффициент Пуассона:

Коэффициент Пуассона этой пластины составляет 1,1, что означает, что боковая деформация пластины при воздействии внешней силы мала. Эта особенность очень важна в производстве полупроводников, особенно в процессах литографии и травления, которые могут обеспечить точное совмещение и перенос рисунков, а также повысить выход годных и стабильность характеристик чипов.

7. высокая температура деформации и температура отжига:

Температура деформации стеклянной пластины SK-1300 составляет 1700 °C, а температура отжига — 1060 °C. Эти высокотемпературные характеристики позволяют ей сохранять хорошие механические и оптические свойства в высокотемпературных средах и подходят для процессов производства полупроводников, требующих высокотемпературной обработки, таких как высокотемпературная диффузия и отжиг.

8. Индивидуальное обслуживание:

Этот продукт поддерживает настройку и может поставлять пластины различных размеров (2/3/4/5/6/8/12 дюймов или индивидуальные размеры) и с различной обработкой поверхности (DSP, SSP, DSL) в соответствии с потребностями заказчика. Такая индивидуальная услуга может удовлетворить особые потребности различных заказчиков и повысить конкурентоспособность продукции на рынке.

1. Технология синтетического плавленого кварца:

Стеклянная пластина sk-1300 производится с использованием технологии синтетического плавленого кварца, которая обеспечивает высокую чистоту и низкое содержание гидроксильных групп в пластине. Благодаря передовому процессу плавки сырье из высокочистого кварца плавится и формуется при высоких температурах, образуя пластины с превосходными оптическими и термическими свойствами.

2. Что такое производство:

Пластина изготавливается с использованием VAD (аксиальное осаждение из паровой фазы), передового производственного процесса, который позволяет получать синтетический плавленый кварц высокой чистоты с низким содержанием гидроксилов. VAD постепенно осаждает кварцевый материал в аксиальном направлении посредством осаждения из паровой фазы, формируя высококачественные пластины.

3. высокотемпературная обработка:

В процессе производства стеклянная пластина SK-1300 обрабатывается высокими температурами, что обеспечивает ей высокие температуры деформации и отжига. Этот процесс высокотемпературной обработки улучшает термостабильность и механические свойства пластины, позволяя ей сохранять хорошие эксплуатационные характеристики в условиях высоких температур.

4. прецизионная обработка:

Пластина подвергается точной механической обработке и может поставляться в различных размерах и с различными видами обработки поверхности в соответствии с потребностями заказчика. Благодаря высокоточным процессам резки, шлифования и полировки обеспечивается точность размеров и качество поверхности пластины, отвечающие требованиям различных областей применения.

5. система контроля качества:

В процессе производства стеклянных пластин sk-1300 строго соблюдается система контроля качества, что позволяет гарантировать соответствие каждой пластины отраслевым стандартам и требованиям заказчика. Благодаря строгому тестированию и контролю качества ключевые параметры, такие как чистота пластины, содержание гидроксильных групп, коэффициент теплового расширения и т. д., гарантируют соответствие заданному диапазону.

6. экологически чистое производство:

Процесс производства данной пластины соответствует стандарту RoHS, что гарантирует минимизацию воздействия продукта на окружающую среду в процессе производства и использования. Благодаря использованию экологически чистых материалов и процессов стеклянная пластина SK-1300 не только обладает превосходными эксплуатационными характеристиками, но и соответствует требованиям по охране окружающей среды.

1. производство полупроводников:

Стеклянная пластина sk-1300 широко используется в производстве полупроводниковых кристаллов, особенно в таких ключевых процессах, как литография, травление и диффузия. Ее высокая чистота, низкое содержание гидроксилов и превосходная термическая стабильность могут обеспечить высокую точность и высокий выход годных в процессе производства кристаллов.

2. производство оптических компонентов:

Пластину можно использовать для изготовления высокоточных оптических компонентов, таких как линзы, призмы и рефлекторы. Ее превосходные оптические свойства и низкий коэффициент теплового расширения могут удовлетворить требованиям применения оптических компонентов в высокоточных оптических системах.

3. область оптической связи:

В области оптической связи стеклянная пластина SK-1300 может использоваться для изготовления устройств оптической связи, таких как оптические волноводы и волоконно-оптические соединители. Ее высокая чистота и низкое содержание гидроксилов могут улучшить оптические характеристики и надежность устройств оптической связи.

4. микроэлектромеханические системы (МЭМС):

Стеклянная пластина sk-1300 подходит для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), таких как датчики и исполнительные механизмы. Ее высокая твердость и хорошие механические свойства могут обеспечить стабильную работу МЭМС-устройств в сложных условиях.

5. Технология отображения:

Пластину можно использовать для изготовления высокоточных дисплейных панелей, таких как OLED и ЖК-дисплеи. Ее превосходные оптические свойства и термостойкость могут улучшить качество отображения и срок службы дисплейной панели.

6. научные исследования:

Стеклянная пластина SK-1300 также широко используется в научных исследованиях, таких как физические эксперименты и материаловедение. Ее высокая чистота и превосходные физические свойства могут обеспечить надежную экспериментальную платформу для исследователей.

Упаковка должна быть способна выдерживать удары, вибрации, укладку и экструзию, которые могут возникнуть во время перевозки, а также должна быть легкой для погрузки и обработки.

Мы используем профессиональную упаковку кристаллических коробок. Цилиндрическая коробка защищена двухслойным мешком, внутри - пылезащитный мешок PE, а снаружи - мешок из алюминиевой фольги, который может быть изолирован от воздуха. Двухэтажные мешки упакованы в вакуум.

Мы выберем модель коробки в зависимости от продукта разных размеров. И заполнить сейсмическую пену EPE между продуктом и картонной коробкой, чтобы играть полную защитную роль.

В конечном итоге выбирается доставка товара клиенту воздушным транспортом. Это позволяет клиентам в любой стране и регионе получать продукцию в кратчайшие сроки.

Мы соблюдаем правила формы данных о безопасности материалов (MSDS), чтобы гарантировать, что перевозимая продукция не содержит вредных веществ и не вызывает загрязнения окружающей среды, взрывов и других возможных опасностей.

Площадь завода: 3000 м²

Процесс:

1. Формирование → 2. контур края → 3. шлифовка → 4. полировка → 5. очистка → 6. упаковка → 7. транспортировка

Вместимость:

Стеклянный круг - 30K пластины

Кремниевая пластина - - 20K

(6 дюймов)

Метод проверки качества: проверка продукта в соответствии со стандартом SEMI или требованиями клиента с добавлением COA продукта.

Гарантийный срок: в соответствии с требованиями контракта.

Управление системой качества:

Организация производства в соответствии с ISO 9001 и другими стандартами системы качества.

Системы и меры менеджмента качества:

● Создайте строгую систему обеспечения качества, руководители отделов и инженеры по качеству обеспечивают скоординированную работу системы качества.

• Усиление системы контроля качества, усиление контроля качества процесса

● Строгий контроль качества материалов для обеспечения того, чтобы вводимые материалы соответствовали требованиям проектирования и техническим спецификациям.

● Внедрение системы своевременного архивирования технической информации для обеспечения полноты / точности всей технической информации о переработке.

Контроль качества на этапе производства:

● Этап подготовки производства: тщательная организация соответствующего персонала для изучения чертежей продукции и технических правил, повышения технического уровня персонала.

● Контроль качества производственного процесса: внедрение строгой системы передачи, передача от предыдущего процесса к следующему, должна быть детально обработана. В то же время, укрепить систему контроля качества для обеспечения качества на каждом этапе процесса.

• Приемка качества: все процессы должны пройти проверку качества до перехода к следующему процессу.

Предпродажное обслуживание

Профессиональная техническая поддержка и бизнес - команда, чтобы помочь вам определить спецификации продукта в соответствии с использованием продукта и опубликовать спецификации.

Приобретение услуг

Производство продукции в соответствии с утвержденными спецификациями и нашей технологией.

Послепродажное обслуживание

В течение 24 часов мы ответим на любые проблемы с продуктами или процессами, с которыми сталкиваются клиенты. Мы можем выбрать различные формы услуг, такие как электронная почта, видеоконференции и т.д.