Стеклянная пластина Corning 7980 — это высококачественная стеклянная пластина на основе SiO₂, изготовленная с использованием передовых производственных процессов. Эта пластина играет важную роль в области производства полупроводников и является незаменимым ключевым материалом в процессе производства многих высокотехнологичных продуктов. Ее уникальный материал и структура позволяют ей соответствовать строгим промышленным стандартам, служить надежным носителем для различных прецизионных процессов обработки микроэлектроники и является одним из важных вспомогательных материалов для развития современных электронных технологий.

отличные оптические характеристики

Стеклянная пластина Corning 7980 обладает превосходными оптическими характеристиками и чрезвычайно высокой прозрачностью. Ее коэффициент пропускания в видимом свете и некоторых ультрафиолетовых диапазонах может достигать более 90%, что позволяет использовать ее в производстве оптоэлектронных устройств. Например, в области оптической связи она может обеспечить эффективную передачу оптических сигналов, снизить затухание сигнала и оказать надежную поддержку построению высокоскоростных и стабильных оптических сетей связи. В то же время ее показатель преломления стабилен, с очень малым диапазоном колебаний всего ±0,001, что позволяет точно контролировать путь распространения света и удовлетворять требованиям высокоточной оптической обработки и детектирования.

сверхвысокая химическая стабильность

С точки зрения химической стабильности стеклянная пластина Corning 7980 демонстрирует хорошие показатели. Она способна противостоять воздействию различных сильных кислот, сильных щелочей и органических растворителей. Даже в экстремальных условиях длительного контакта с раствором плавиковой кислоты высокой концентрации (концентрация до 49%) скорость коррозии ее поверхности составляет всего 0,01 мм/год, что значительно ниже значения 0,1 мм/год, установленного отраслевым стандартом. Она способна сохранять стабильные физические и химические свойства, гарантируя, что поверхность чипа не будет подвержена влиянию химических реакций.

высокая точность размеров

Стеклянная пластина Corning 7980 отличается чрезвычайно высокой точностью размеров, которая может соответствовать требованиям к точности на микронном или даже нанометровом уровне в производстве полупроводников. Допуск на ее диаметр контролируется в пределах ±0,05 мм, а допуск на толщину составляет всего ±0,01 мм, что является ведущим показателем в отрасли. Если взять в качестве примера 8-дюймовую пластину, диапазон погрешности ее диаметра составляет всего 0,05 мм, что означает, что при крупномасштабном производстве интегральных схем можно добиться высокоплотной компоновки кристалла, что повысит интеграцию и производительность кристалла.

отличная плоскостность

Плоскостность пластины очень превосходна, а плоскостность ее поверхности может достигать стандарта 1/10λ (гелий-неоновый лазер с длиной волны 632,8 нм), что эквивалентно разнице высот поверхности всего в 0,063 мкм. В процессе литографии при производстве полупроводников литографическая машина должна точно проецировать литографический рисунок на поверхность пластины. Любая крошечная неровность поверхности может вызвать искажение рисунка и повлиять на производительность чипа. Высокая плоскостность стеклянной пластины Corning 7980 может гарантировать равномерное покрытие слоем фоторезиста и четкий и точный перенос фотолитографического рисунка на поверхность пластины, тем самым обеспечивая точность обработки микро- и наноструктур полупроводниковых приборов.

хорошая термическая стабильность

Стеклянная пластина Corning 7980 обладает хорошей термической стабильностью, а ее коэффициент теплового расширения составляет всего 0,5 ppm/°C (миллионных долей на градус Цельсия), что значительно ниже, чем 9 ppm/°C обычных стеклянных материалов. В процессе производства полупроводников, от низкотемпературного эпитаксиального роста до высокотемпературной диффузии, отжига и других технологических звеньев, диапазон изменения температуры может составлять от -50°C до 1200°C. Этот низкий коэффициент теплового расширения делает размер пластины очень мало изменяемым при изменении температуры и позволяет поддерживать стабильные физические и химические свойства, избегать таких проблем, как деформация пластины и растрескивание, вызванных термическим напряжением, а также гарантировать качество изготовления и стабильность характеристик полупроводниковых приборов.

высокая механическая прочность

С точки зрения механической прочности пластина из стекла Corning 7980 демонстрирует хорошие показатели: ее прочность на изгиб может достигать 200 МПа, что более чем в 3 раза превышает прочность обычного стекла. В процессе производства и транспортировки полупроводников пластина может выдерживать большие механические нагрузки, не подвергаясь легким повреждениям. Хорошая механическая прочность также помогает повысить стабильность пластины в сложных производственных условиях, обеспечивает бесперебойность процесса изготовления полупроводников, снижает риск прерывания производства из-за повреждения пластины и повышает эффективность производства.

экологически чистый и не загрязняющий окружающую среду

Стеклянная пластина Corning 7980 строго соответствует стандартам защиты окружающей среды и не использует в процессе производства никаких вредных веществ, таких как тяжелые металлы, такие как свинец, ртуть и кадмий, а также соответствует требованиям директивы RoHS (ограничение использования определенных опасных веществ). Это не только помогает защитить окружающую среду и снизить загрязнение экосистемы, но и отвечает требованиям по защите окружающей среды современной электронной промышленности.

идеальный индивидуальный сервис

Стеклянная пластина Corning 7980 обеспечивает превосходные индивидуальные услуги и может быть изготовлена по индивидуальному заказу в соответствии с особыми потребностями клиентов. Помимо стандартных размеров пластин 2, 4, 6, 8 и 12 дюймов, нестандартные пластины также могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с конкретными требованиями клиентов, в диапазоне от 1 дюйма до 30 дюймов. При этом обработка поверхности и концентрация легирования пластины также могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями клиентов, чтобы удовлетворить потребности различных клиентов в различных областях применения.

1. подготовка исходных материалов

Основным материалом стеклянной пластины Corning 7980 является высокочистый диоксид кремния (SIO₂). Сначала в качестве сырья выбирается высококачественный кварцевый песок, а примеси удаляются путем высокотемпературной плавки, что обеспечивает чистоту SIO₂ более 99,99%. Этот процесс осуществляется в специальной высокотемпературной печи, температура поддерживается на уровне около 2000 °C, что обеспечивает полное расплавление кварцевого песка и образование однородного стекломассы. В процессе плавки атмосфера и температура строго контролируются, чтобы предотвратить смешивание примесей, обеспечивая чистую сырьевую основу для последующего роста пластин.

2. композитный метод роста

Стеклянная пластина Corning 7980 изготавливается методом композитного роста. Этот метод сочетает в себе ряд передовых технологий роста, таких как метод Чохральского и метод зонной плавки. При методе Чохральского расплавленный раствор SiO₂ медленно втягивается в пластину через затравочный кристалл, а структурная целостность пластины обеспечивается за счет точного управления скоростью вытягивания кристалла и градиентом температуры. Метод зонной плавки используется для дальнейшего повышения чистоты материала. За счет медленного перемещения зоны нагрева происходит обогащение примесями одного конца, в результате чего получается пластина высокой чистоты. Сочетание метода композитного роста позволяет стеклянной пластине Corning 7980 соответствовать высоким стандартам как по структуре, так и по эксплуатационным характеристикам.

3. производство чистых помещений класса 100

Процесс производства стеклянных пластин Corning 7980 осуществляется в чистом помещении класса 100 с уровнем чистоты, соответствующим стандартам ISO 5. Воздух в чистом помещении эффективно фильтруется, а количество частиц диаметром более 0,5 мкм на кубический метр воздуха не превышает 100. Такая среда высокой чистоты позволяет эффективно предотвращать загрязнение частицами и обеспечивать чистоту и качество поверхности пластин. В чистом помещении все производственное оборудование и операторы проходят строгую очистку и дезинфекцию, чтобы исключить любые возможные источники загрязнения и гарантировать высокие стандарты качества пластин в процессе производства.

4. прецизионная обработка и тестирование

После производства стеклянная пластина Corning 7980 проходит ряд процессов прецизионной обработки и тестирования. Сначала поверхность пластины обрабатывается с помощью высокоточного шлифовального и полировального оборудования, чтобы гарантировать, что ее плоскостность соответствует стандарту 1/10λ. Затем плоскостность поверхности, размерная точность и химическая стабильность пластины строго проверяются с помощью передового испытательного оборудования, такого как оптические интерферометры и атомно-силовые микроскопы (АСМ). В процессе тестирования любые пластины, не соответствующие стандартам, отсеиваются, чтобы гарантировать, что каждая пластина, поставляемая клиентам, соответствует высоким стандартам качества.

5. индивидуальная обработка

Для удовлетворения особых потребностей клиентов компания Corning 7980 Glass Wafer предлагает услуги по индивидуальной обработке. В соответствии с требованиями заказчика на поверхность пластины могут быть нанесены специальные покрытия, такие как антибликовые покрытия, проводящие покрытия и т. д. Кроме того, в соответствии с потребностями заказчика может быть выполнена легирующая обработка для регулировки электрических свойств пластины. Эти индивидуальные процессы обработки выполняются в специализированном технологическом цехе в строгом соответствии с техническими требованиями заказчика, что гарантирует высокое качество и высокие эксплуатационные характеристики индивидуальных продуктов.

6. упаковка и транспортировка

Стеклянная пластина Corning 7980 также строго соответствует отраслевым стандартам при упаковке и транспортировке. Пластина помещается в специальную антистатическую и ударопрочную упаковочную коробку, чтобы гарантировать ее сохранность во время транспортировки. Внутренняя часть упаковочной коробки изготовлена из высокочистого вспененного полиэтилена, который эффективно поглощает вибрацию и удары. Во время транспортировки используются профессиональные логистические услуги, чтобы гарантировать безопасную и своевременную доставку пластин клиентам. Кроме того, компания также предоставляет услуги по отслеживанию логистики, чтобы клиенты могли в любой момент узнать статус транспортировки продукта.

7. контроль качества и сертификация

Процесс производства стеклянных пластин Corning 7980 строго соответствует стандарту системы менеджмента качества ISO 9001, что гарантирует стабильность и постоянство качества продукции. Компания регулярно проводит внутренние аудиты качества и внешние сертификационные аудиты, чтобы гарантировать соответствие производственного процесса международным стандартам. Продукция также прошла сертификацию RoHS, что гарантирует ее экологичность и безопасность. Благодаря строгому контролю качества и системе сертификации стеклянные пластины Corning 7980 обеспечивают клиентов высококачественной и высоконадежной продукцией, отвечающей потребностям различных областей применения.

мемы и электроника

В МЭМ и электронике стеклянные пластины используются для изготовления корпусов пластин и подложек. В МЭМ и электронике стеклянные пластины используются для корпусирования чувствительных компонентов благодаря их превосходной функциональности и исключительной надежности с течением времени и в условиях суровых условий. В качестве подложки-носителя стекло выбирают из-за его термостойкости и химической стойкости. В производстве медицинских приборов эти пластины используются для создания герметичных корпусов МЭМ.

полупроводники

Стеклянные пластины используются в качестве подложек при производстве полупроводниковых пластин, которые изготавливаются из более тонких материалов, которые легко гнутся или рвутся. Компоненты стеклянной подложки позволяют безопасно работать с полупроводниковыми пластинами, несмотря на их тонкую и мелкую текстуру. Стекло было выбрано из-за его превосходной химической и термической стабильности, а также возможности повторного использования для снижения стоимости и воздействия на окружающую среду в некоторых областях применения.

биотехнология

Стеклянные пластины используются в качестве подложек для различных биотехнологических приложений. Боросиликатное стекло является лучшим выбором для медицинских приборов благодаря своей превосходной стойкости к высоким температурам и энергии, а также к радиационному воздействию, например, в рентгеновском оборудовании. Пластины также используются для производства микрофлюидных чипов с использованием наноимпринтной литографии, в которой стекло выступает в качестве подложки. Стекло обеспечивает абсолютную оптическую прозрачность, необходимую для многих биотехнологических приложений, что делает его распространенным выбором для использования в качестве покрытий на устройствах из кремния. Процессы соединения пластин, такие как анодное соединение и термическое соединение, создают герметичное уплотнение.

интегральная схема

Стеклянные пластины используются в различных приложениях по корпусированию интегральных схем (ИС), обеспечивая более высокую производительность и экономическую эффективность в качестве подложек. Стеклянные сквозные отверстия (TGVS) и стеклянные крышки для пластин (WLC) представляют собой усовершенствованные решения в области корпусирования, обеспечивающие улучшенные технические характеристики благодаря особым характеристикам стекла, включая жесткость и шероховатость менее 0,5 нм (среднеквадратичное значение). Стекло защищает ИС от ударов и коррозии, сохраняя при этом контакты и выводы, которые подключаются к внешней схеме.

Упаковка должна быть способна выдерживать удары, вибрации, укладку и экструзию, которые могут возникнуть во время перевозки, а также должна быть легкой для погрузки и обработки.

Мы используем профессиональную упаковку кристаллических коробок. Цилиндрическая коробка защищена двухслойным мешком, внутри - пылезащитный мешок PE, а снаружи - мешок из алюминиевой фольги, который может быть изолирован от воздуха. Двухэтажные мешки упакованы в вакуум.

Мы выберем модель коробки в зависимости от продукта разных размеров. И заполнить сейсмическую пену EPE между продуктом и картонной коробкой, чтобы играть полную защитную роль.

В конечном итоге выбирается доставка товара клиенту воздушным транспортом. Это позволяет клиентам в любой стране и регионе получать продукцию в кратчайшие сроки.

Мы соблюдаем правила формы данных о безопасности материалов (MSDS), чтобы гарантировать, что перевозимая продукция не содержит вредных веществ и не вызывает загрязнения окружающей среды, взрывов и других возможных опасностей.

Площадь завода: 3000 м²

Процесс:

1. Формирование → 2. контур края → 3. шлифовка → 4. полировка → 5. очистка → 6. упаковка → 7. транспортировка

Вместимость:

Стеклянный круг - 30K пластины

Кремниевая пластина - - 20K

(6 дюймов)

Метод проверки качества: проверка продукта в соответствии со стандартом SEMI или требованиями клиента с добавлением COA продукта.

Гарантийный срок: в соответствии с требованиями контракта.

Управление системой качества:

Организация производства в соответствии с ISO 9001 и другими стандартами системы качества.

Системы и меры менеджмента качества:

● Создайте строгую систему обеспечения качества, руководители отделов и инженеры по качеству обеспечивают скоординированную работу системы качества.

• Усиление системы контроля качества, усиление контроля качества процесса

● Строгий контроль качества материалов для обеспечения того, чтобы вводимые материалы соответствовали требованиям проектирования и техническим спецификациям.

● Внедрение системы своевременного архивирования технической информации для обеспечения полноты / точности всей технической информации о переработке.

Контроль качества на этапе производства:

● Этап подготовки производства: тщательная организация соответствующего персонала для изучения чертежей продукции и технических правил, повышения технического уровня персонала.

● Контроль качества производственного процесса: внедрение строгой системы передачи, передача от предыдущего процесса к следующему, должна быть детально обработана. В то же время, укрепить систему контроля качества для обеспечения качества на каждом этапе процесса.

• Приемка качества: все процессы должны пройти проверку качества до перехода к следующему процессу.

Предпродажное обслуживание

Профессиональная техническая поддержка и бизнес - команда, чтобы помочь вам определить спецификации продукта в соответствии с использованием продукта и опубликовать спецификации.

Приобретение услуг

Производство продукции в соответствии с утвержденными спецификациями и нашей технологией.

Послепродажное обслуживание

В течение 24 часов мы ответим на любые проблемы с продуктами или процессами, с которыми сталкиваются клиенты. Мы можем выбрать различные формы услуг, такие как электронная почта, видеоконференции и т.д.