Кремниевые пластины являются основой современной электроники, служа основой для интегральных схем (ИС), солнечных элементов и микроэлектромеханических систем (МЭМС). Однако даже микроскопические загрязнения — пыль, органические остатки или металлические примеси — могут снизить производительность пластины. Поэтому очистка кремниевых пластин — критически важный этап в производстве полупроводников.
-
2025-12-08