Слово «эпитаксия» происходит от греческого слова «epi», что означает «на поверхности…». Отсюда легко понять распространённое выражение «GaN на Si», которое представляет собой структуру нитрида галлия на кремниевой подложке. В процессе получения полупроводниковых материалов подготовка пластин является ключевым звеном, включающим два основных этапа: подготовку подложки и процесс эпитаксии.
-
2025-12-08