Очистка полупроводниковых пластин — один из важнейших этапов производства микроэлектроники. Перед любым процессом осаждения, литографии или травления поверхность пластины должна быть полностью очищена от органических остатков, металлических частиц и ионных загрязнений.
-
2025-12-08